Il microscopio elettronico usa una colonna GEMINI® con sorgente Schottky FE per l’emissione di elettroni, capace di ridurre aberrazioni, raggiungere elevate risoluzioni anche a bassi voltaggi e “working distance”, e ottenere alte tensioni di corrente e stabilità del fascio. La camera porta-campioni è di relativamente grandi dimensioni e il porta-campioni traslabile permette ampie escursioni. I rilevatori di elettroni sono tre: 1) InLens, integrato nella GEMINI, con alta sensibilità per gli elettroni secondari, 2) SE2 per la detenzione efficace degli elettroni secondari ad elevate distanze operative e 3) BSE ad effetto topo-compo per la detenzione degli elettroni secondari retrodiffusi (4Q BDS), estraibile.
Il sistema di microanalisi si basa invece sulla decodificazione dell’energia dello spettro dei raggi X emessi dal campione colpito da un fascio elettronico. A tale scopo il nostro strumento usa una sonda Ultim Max Silicon Drift Detectors (SDD) XMAXN50 della Oxford.
